SEMI

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)とは半導体、FPD、太陽光発電、その他関連装置、関連材料、関連サービスを提供している企業における国際工業会です。その工業会の専門委員会で発行される文書(スタンダード・仕様・ガイドライン等)を SEMIスタンダードと呼んでいます。

SEMIスタンダードは現在16分野で約900の文書が出版されており、その中でも EHS(Environmental Health and Safety)委員会が発行する安全ガイドラインは半導体製造装置の売買契約時の安全性評価もしくは購買仕様として世界中で幅広く使用されています。

BSIでは安全ガイドラインの中で代表的な SEMI S2/S8 及び S22 に関する評価及びテストレポートの作成サービスをはじめ、他のガイドラインに基づいた評価も提供しています。製造装置の種類によって評価するガイドラインも異なりますので、装置評価をご検討されている半導体製造装置メーカー様は、BSIへお気軽にご相談ください。

 

SEMI S2:Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment(半導体製造装置の環境、健康及び安全に関するガイドライン) 

SEMI S8:Safety Guideline for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment(半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン)

SEMI S22:Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment(半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン)